器械净化工程-净化车间设计的规范参照:
1、---
2、洁净室厂房设计规范
3、器械包装车间洁净室厂房规范<----97>
4、---生产管理规范<----98>
5、洁净室施工及难收规范
6、通风与空调工程施工及验收规范
7、美国联邦标准
净化工程——无尘车间
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,不锈钢彩钢板价格,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或---度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提---,对有关规范、导则等提 出的或参考值是否偏于保守,不锈钢彩钢板尺寸,已有不少讨论;ffu在应用中人们---的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着ffu的不断改进,不锈钢彩钢板,对是否采用 ffu回风系统也是个---:悬浮分子污染(amc)的控制在微电子及ic工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。
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