净化工程洁净室
并装局部洁净室(clean spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台:等级class 1~100级。 洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,纸蜂窝夹芯板材质,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高ji之洁净空间,其等级为10~1000级,纸蜂窝夹芯板的应用,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
净化工程一般是建设洁净室的工程。
一、洁净室之定义 洁净室,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 fed-std-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,合肥纸蜂窝夹芯板,从而达到适当的微粒洁净度级别。洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、xi菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予---设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化工程——无尘车间
所谓的无尘车间是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,纸蜂窝夹芯板,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或---度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。
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