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净化工程——洁净室

洁净室内应---一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的da值；

1、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。

2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

3、---室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

四、洁净室正压控制

1、洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，夹芯板价格，应不小于5pa，洁净区与室外的静压差，应不小于10pa。

净化工程洁净室的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。    

 (1)洁净隧道：以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，彩钢夹芯板，ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：a.弹性扩充容易； b.维修设备时可在维修区轻易执行。  (2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，阜阳夹芯板，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到---之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。---、食品业界及半导体业界均适用。